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动态反应池电感耦合等离子体质谱仪分析半导体级盐酸中杂质

陈建敏, 游维松

陈建敏, 游维松. 动态反应池电感耦合等离子体质谱仪分析半导体级盐酸中杂质[J]. 岩矿测试, 2010, 29(1): I-II.
引用本文: 陈建敏, 游维松. 动态反应池电感耦合等离子体质谱仪分析半导体级盐酸中杂质[J]. 岩矿测试, 2010, 29(1): I-II.
shu
Determination of Impurities in Semiconductor Grade Hydrochloric Acid by Inductively Coupled Plasma-Mass Spectrometry with Dynamic Reaction Cell[J]. Rock and Mineral Analysis, 2010, 29(1): I-II.
Citation: Determination of Impurities in Semiconductor Grade Hydrochloric Acid by Inductively Coupled Plasma-Mass Spectrometry with Dynamic Reaction Cell[J]. Rock and Mineral Analysis, 2010, 29(1): I-II.
shu

动态反应池电感耦合等离子体质谱仪分析半导体级盐酸中杂质

  • 1.

    珀金埃尔默仪器上海有限公司北京办事处

  • 2.

    珀金埃尔默仪器上海有限公司北京办事处

Determination of Impurities in Semiconductor Grade Hydrochloric Acid by Inductively Coupled Plasma-Mass Spectrometry with Dynamic Reaction Cell

  • 1.

    Labortory of Chaidamu Integrated Institute of Geology and Mineral Exploration

  • 2.

    Application Center for Geoanalysis of Qinghai Province

摘要

    摘要
  • 摘要: 动态反应池（DRC-TM）技术使用四级杆，通过调节四级杆中的射频（RF）电压和直流（DC）电压产生质量带宽，消除副产物。这种设计的优点之一是具有动态质量带宽（DBT）的能力，即可以使特定离子通过反应池，而其他离子被排除在反应池之外。由于动态反应池技术具备DBT能力，即使使用反应活性非常强的气体(例如NH3和O2)，不需要的副产物离子不会在反应池中产生。本文的目的是证明动态反应池具有这种能力，通过一次分析，在热等离子体条件下，动态反应池可以轻松地消除各类干扰，从而实现对半导体级HCl中超痕量杂质的分析。
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出版历程
  • 收稿日期:  2009-11-04
  • 修回日期:  2009-11-05

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