摘要: 动态反应池（DRC-TM）技术使用四级杆，通过调节四级杆中的射频（RF）电压和直流（DC）电压产生质量带宽，消除副产物。这种设计的优点之一是具有动态质量带宽（DBT）的能力，即可以使特定离子通过反应池，而其他离子被排除在反应池之外。由于动态反应池技术具备DBT能力，即使使用反应活性非常强的气体(例如NH3和O2)，不需要的副产物离子不会在反应池中产生。本文的目的是证明动态反应池具有这种能力，通过一次分析，在热等离子体条件下，动态反应池可以轻松地消除各类干扰，从而实现对半导体级HCl中超痕量杂质的分析。